A 12 MHz micromechanical bulk acoustic mode oscillator

T. Mattila, Jyrki Kiihamäki, T. Lamminmäki, Olli Jaakkola, Pekka Rantakari, A. Oja, Heikki Seppä, H. Kattelus, Ilkka Tittonen

Sensors and Actuators A Physical · 2002 · 147 citations · 17 references

Concepts

References

17