High‐Resolution Soft Lithography: Enabling Materials for Nanotechnologies

Abstract

Ein guter Eindruck: Photohärtbare, flüssige Perfluorpolyether (PFPEs) eignen sich ideal für hochauflösende (<100 nm) Musterübertragungs- und lithographische Prägeprozesse (siehe Bild). Die PFPEs weisen Merkmale von Elastomeren wie von steifen Materialien auf, haben eine bemerkenswert niedrige Oberflächenenergie, geben sehr kleine Muster mit großer Genauigkeit wieder, werden durch die meisten organischen Solventien nicht gequollen und lassen sich wiederholt in Gießprozessen einsetzen.