Interactive electron energy-loss elemental mapping by the "Imaging-Spectrum" method

Abstract

Nous exposons le principe d'obtention d'images chimiques l'aide d'une mthode per- mettant un dialogue interactif entre, d'une part l'image et d'autre part le spectre de pertes d'nergie lectronique d'un chantillon ou d'une zone d'un chantillon. Cette mthode baptise "Image-Spectre" utilise les possibilits offertes par la microscopie lectronique transmission filtre en nergie (EFTEM) couple avec un micro-ordinateur. Les expriences ont t ralises avec un mi- croscope ZEISS CEM 902 et un systme de traitement d'images KONTRON. Un logiciel que nous avons dvelopp sur micro-ordinateur permet de travailler aprs acquisition. Nous comparons cette technique avec la mthode Spectres-Image et valuons l'avenir de la microscopie filtre en nergie. Nous discutons de la rsolution spectrale et spatiale de la mthode ainsi que de la dose ncessaire pour obtenir une srie d'images par la mthode "Image-Spectre". Nous montrons l'intrt d'une telle technique pour l'obtention d'une cartographie chimique haute rsolution spatiale.