Chemical Vapor Deposition of Gold

Carl E. Larson, Thomas H. Baum, Robert L. Jackson

Journal of The Electrochemical Society · 1987 · 54 citations · 0 references

Concepts

Abstract

Essais de plusieurs precurseurs les meilleurs etant Me 2 Au(acac), Me 2 Au(tfac) et Me 2 Au(hfac)