Infrared absorption of amorphous boron films containing carbon and hydrogen

Abstract

Optical transmission spectra of vacuum deposited amorphous boron films are obtained, at room temperature, in the near infrared over the range 700 to 4000 cm−1 (14 to 2.5 μm). Absorption bands are observed and identified as due to hydrogen and carbon which are deliberately introduced into the films during deposition. The concentrations of hydrogen and carbon present in each film are determined by secondary-ion mass-spectrometry analysis. Intensities of IR bands attributed to hydrogen and carbon are found to correlate with hydrogen and carbon content, respectively. On a étudié dans l'infrarouge proche entre 700 à 4000 cm−1 (14 à 2,5 μm), le spectre optique de transmission à temperature ambiente, pour couches minces du bore amorphe obtenu sous vide. Les bandes d'absorption dues à l'hydrogène et au carbone introduit expressément dans les échantillons au cours de la déposition ont été observées et identifiées. La concentration de l'hydrogène et du carbone dans chaque échantillon a été determiné par spectrométrie de masse des ions secondaires. On a trouvé une corrélation entre les intensités des bandes infrarouges attribuées a l'hydrogène et au carbone et les concentrations respectives de l'hydrogène et du carbone.