The determination of foil thickness by scanning transmission electron microscopy

Abstract

A simple and accurate method of determining foil thickness is described. The method makes use of measurements of the spacing of intensity oscillations in convergent beam diffraction patterns obtained with commercial scanning transmission electron microscopes. Extension of the technique to determination of extinction distances and anomalous absorption parameters required for the two-beam dynamical theory is outlined briefly. Une méthode simple et exacte pour déterminer l′épaisseur des échantillons minces est décrite. Cette méthode se sert des mesures d′espacement aux oscillations d′intensité qui se trouvent sur les figures de diffraction obtenues au moyen d′un microscope électronique industriel à balayage par transmission. L′extension de cette méthode pour déterminer les distances d′extinction et des paramètres d′absorption anomalaux nécessaires pour la théorie dynamique à deux rayons est briévement discutée.