Templating of Silsesquioxane Cross‐Linking Using Unimolecular Self‐Organizing Polymers

Abstract

Sternförmige micellare Polymere dienen als Template für die kontrollierte Umwandlung amorpher wärmehärtender organischer Silsesquioxane in geordnete nanoporöse Materialien für Halbleiterchips (siehe Bild). Die Porengröße hängt allein von der Polymergröße ab, nicht von der Konzentration oder den Herstellungsbedingungen. Supporting information for this article is available on the WWW under http://www.wiley-vch.de/contents/jc_2001/2003/z50930_s.pdf or from the author. Please note: The publisher is not responsible for the content or functionality of any supporting information supplied by the authors. Any queries (other than missing content) should be directed to the corresponding author for the article.