Studies of Super-Smooth Polishing on Aspherical Surfaces.

Abstract

短波長用光学素子を生産する超平滑研磨技術および装置CSSPについて解説した.ローカルピッチ研磨法により, 表面粗さ0.2nm RMSの超平滑研磨が非球面においても達成できる。また, 接触式の形状測定方法で3~9nm RMS/φ500mmの繰返し性で形状を測定可能である.3種類のワークについて加工評価し, 目標精度を達成, CSSPの機能を確認した.今後は形状測定の確度を実際の光学素子の生産を通じて検討する予定のほか, 生産コストに関し, 除去レートの向上, 単位除去形状のさらなる安定化が課題である.