Structural and Acoustic Properties of ZnO Thin Films Prepared by Spray

Abstract

ZnO thin films have been grown on glass substrates using the spray pyrolysis technique. The depositions were carried out in the range of substrate temperatures from 400 to 500 °C. Highly c-axis oriented ZnO films, having a strong (002) X-ray diffraction line, are obtained at lower temperatures (400 to 420 °C). Film surfaces were analysed by contact Atomic Force Microscopy (AFM). On the other hand, we have used scanning microscopy performed at a frequency of 570 MHz to reach a microechography and acoustic signature V(z) of our samples in order to understand their qualities. Des couches minces d'oxyde de zinc ZnO sont préparées, sur substrat de verre par la technique de pulvérisation chimique réactive en phase liquide. La température du substrat varie de 400 à 500 °C. Les couches obtenues sont bien cristallisées et l'orientation priviligiée (002) est d'autant meilleure pour les températures 400 à 420 °C. L'analyse de la surface de ces couches a été faite par microscopie à champ proche en utilisant le mode contacte. D'autre part, ces dépôts sont analysés par microscopie acoustique et plus particulièrement par la méthode de relevé de signature acoustique V(z). Cette signature, effectuée à la fréquence 570 MHz a permis un bon contrôle de la qualité de ces dépôts.