Uniform, Axial‐Orientation Alignment of One‐Dimensional Single‐Crystal Silicon Nanostructure Arrays

Abstract

Feine Kratzer auf der Oberfläche: Eine einfache Ätztechnik, die von einem Ag-Nanopartikelnetzwerk unterstützt wird und großflächige 1D-Anordnungen von Siliciumnanostrukturen mit der gewünschten Orientierung und Dotierungscharakteristik liefert, wird vorgestellt (siehe Bild). Aus den experimentellen Befunden wird ein Mechanismus für das hoch selektive Ätzen abgeleitet. Supporting information for this article is available on the WWW under http://www.wiley-vch.de/contents/jc_2001/2005/z462995_s.pdf or from the author. Please note: The publisher is not responsible for the content or functionality of any supporting information supplied by the authors. Any queries (other than missing content) should be directed to the corresponding author for the article.