Scanning Electron Microscope

Abstract

走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope，以下SEM）は分解能や信号検出技術の向上を目指してさまざまな改良が加えられて進歩してきた。近年ではサブナノメーターに迫る分解能やさまざまな信号情報を選択的に検出する機能を有した装置も実現されており，応用分野は拡大しつつある。本稿では，SEMの基本的な原理と装置構成について解説し，最新の装置による高分子材料などの機能性材料の観察例を紹介する。