Structure and optical properties of MoO3 thin films prepared by chemical vapor deposition

Abstract

The structure and optical properties of polycrystalline MoO3 thin films prepared by annealing of black molybdenum layers produced by chemical vapor deposition on fused quartz substrates are determined. Three different modes of annealing are used. X-ray diffraction spectra reveal that all the films consist of MoO3 crystallized in orthorhombic form. The optical indices (n and k), the optical gap, the thickness, and the density of the films are determined. All these parameters vary as a function of the annealing conditions and film thickness. The values determined for the optical constants and the film densities are in agreement with the results found in the literature. Electrochromism is observed in these compounds. Struktur und optische Eigenschaften von polykristallinen dünnen MoO3-Schichten werden bestimmt, die durch Temperung von schwarzen Molybdänschichten nach der chemischen Abscheidung aus der Dampfphase auf Quarzglassubstrate erhalten werden. Drei verschiedene Ausheilmethoden werden benutzt. Röntgenbeugungsspektren zeigen, daß alle Schichten aus MoO3 bestehen, das in orthorhombischer Form kristallisiert ist. Die optischen Indizes (n und k), die optische Bandlücke, die Dicke und Dichte der Schichten werden bestimmt. Alle diese Parameter ändern sich als Funktion der Temperungsbedingungen und der Schichtdicke. Die für die optischen Konstanten bestimmten Werte und die Schichtdichten sind in Übereinstimmung mit Ergebnissen aus der Literatur. In diesen Verbindungen wird auch Elektrochromismus beobachtet.