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A Low Pressure BPSG Deposition Process
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1985
Year
Materials ScienceBasse PressionEngineeringSurface ScienceApplied PhysicsAnalytical ChemistryPulsed Laser DepositionBorophosphosilicate IsolantChemistryMultiphase FlowPhase VapeurChemical DepositionChemical Vapor DepositionChromatography
Mise au point d'une technique de depot chimique en phase vapeur a basse pression et basse temperature du verre de borophosphosilicate isolant, sans trop elever la concentration en bore