Recent progress in multi-element alloy and nitride coatings sputtered from high-entropy alloy targets

Abstract

Cet article presente le developpement de revetements durs et de nouveaux systemes de revetements durs multielementaires bases sur des alliages a haute entropie (HEA). Des exemples recents de conception de revetements sont decrits. On presente la preparation et la caracterisation de nouveaux revetements de nitrures multielementaires, composes de plusieurs elements formeurs ou non formeurs de nitrures. Les revetements d'alliages et de nitrures multielementaires tendent a former des phases amorphes ou des solutions solides nanocristallines, et non des melanges de phases ou de structures compliquees. Une haute stabilite de la solution solide de nitrures peut etre maintenue, meme apres recuit a 1000 °C sous vide. Des surfaces lisses peuvent etre obtenues non seulement avec les revetements de HEA, mais aussi avec les revetements de nitrures. On trouve que l'addition d'azote conduit a des revetements multielementaires presentant une durete plus elevee, de plus faibles contraintes de compression et un rapport de la durete au module elastique plus eleve que les materiaux classiques a base de nitrures binaires.